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N、O含量相关论文
磁控溅射Y薄膜对钆中N、O含量的影响
在钆表面磁控溅射Y薄膜后真空退火,使Gd基体中的N、O等间隙杂质扩散到Y薄膜中进而去除基体金属中N、O等气体杂质。该方法对去除间......
期刊
磁控溅射
Y
N、O含量
magnetron sputtering Y N-O concentration
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