Ni(Zr)Si 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

Ni(Zr)Si相关论文

深槽和Ni（Zr）Si/Si肖特基势垒二极管研究

该论文围绕深槽隔离结构和镍硅化物的热稳定性进行研究.深槽结构的研究服务于该课题组的军事预先研究项目——S波段Si双极微波功率......

学位

深槽湿法腐蚀硅化物 Ni(Zr)Si 肖特基二极管

Ni(Zr)Si薄膜热稳定性及其肖特基势垒二极管的电学特性

提出在Ni中掺入夹层Zr的方法来提高NiSi的热稳定性.具有此结构的薄膜,600～800℃快速热退火后,薄层电阻保持较低值,小于2Ω/□.经XRD......

期刊

Ni(Zr)Si 热稳定性 X射线衍射 Raman光谱肖特基二极管

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