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溅射气压对ZrO薄膜微结构与光学性能的影响
利用射频反应磁控溅射在显微玻璃、单晶硅片、NaCl和石英上沉积ZrO薄膜.膜厚60~80nm.研究发现,溅射气压升高,薄膜结晶程度降低,同......
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ZrO薄膜
磁控溅射
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