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连续压入法评定等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN膜基结合强度
介绍了一种新型涂层压入仪。对比了压入法、划痕法、接触疲劳法测定不同处理基体、同类PECVD TiN 膜基结合强度的变化规律。结果表明采用该......
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