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该文系统地研究了KTN/P-Si(100)薄膜的PLD(脉冲激光沉积)制备技术,根据实验详细地讨论了各工艺因素对薄膜结构和性能的影响,得到了......
使用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上沉积钇稳定的氧化锆(YSZ)薄膜,用XRD分析薄膜的结晶取向,SEM和AFM观测薄膜表面形貌,研究了在2......