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PVD-AlN缓冲层相关论文
基于PVD-AlN缓冲层的AlN和AlGaN薄膜MOCVD外延生长研究
AlGaN材料是一种直接宽禁带半导体,带隙能量在6.2 eV3.4 eV内连续可调,基于AlGaN材料的紫外光电器件具有波长连续可调、全固态、体......
学位
金属有机化学气相沉积
PVD-AlN缓冲层
AlN、AlGaN薄膜
再生长
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