PZT移相器相关论文
移相干涉术(PSI)作为快速、非接触的精密测量手段,已经广泛地应用于光学零件、光学系统、精密表面的检测和其它与光程差参数相关的......
以压电陶瓷（PZT）微位移器为主要研究对象，引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法，设计实验对一台实际使用的移相器......
环境振动严重影响移相干涉测量的过程。在运用光学外差法测得移相干涉仪环境振动信号的前提下，设计了采用高速DSP芯片的振动控制器，......
