作为MEMS(Micro Electromechanical System,即微机械系统)传感器十分重要的组成部分,MEMS压力传感器广受关注。与传统压力传感器相......

传统压电陶瓷材料具有高的压电系数、高的机电耦合系数等特点，广泛用于能量转换、传感、驱动、频率控制等领域。相比于传统压电陶瓷......

本文主要研究的是基于微机电系统(MEMS)的纳米纤维MEMS压力传感器,它具有质量轻,制作简单的特点,可以应用于工业和生活的各个领域,......

以纳米材料为核心的纳米科学与技术的发展为解决能源与环境问题提供了新思路。本文从一维纳米材料在压电纳米发电机中的应用和纳米......

与传统的传感器相比,MEMS传感器结构的微小变差将会对其性能的稳定性产生较大影响,因此将稳健设计应用到MEMS传感器的结构设计中具......