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PZT铁电厚膜相关论文
新型Sol—Gel技术PZT铁电厚膜的制备及电学性能研究
采用新型sol-gel技术在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了厚度为2~60μm的PZT铁电厚膜材料;研究了PZT厚膜的结构及其介电、铁电性能.XRD......
期刊
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ferroelectric thick film lead zircon
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