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减薄膜厚有利于提高ＰｔＳｉ红外探测器的量子效率。本文研究了膜厚减薄工艺对薄膜连续性的影响。用ＸＲＤ观察物相，ＳＥＭ、ＴＥＭ研究薄膜连续性，并给出理论解......
