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半球谐振子镀膜残余应力对品质因数影响特性分析
针对半球谐振子表面金属薄膜残余应力分布情况,对半球谐振子Q值的影响特性进行了仿真。根据仿真结果,采用多自由度磁控溅射及基底......
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半球谐振陀螺
多自由度转动机构
谐振子镀膜
Q值仿真
残余应力
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