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新型大行程解耦柔性微动定位平台研究
近年来,随着科技的飞速发展,设备微型化、微芯片高度集成化、操作精密化等使微/纳米技术成为国内外研究的重点方向,而精密定位技术是......
学位
微动定位平台
柔性铰链
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动力学模型
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