切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
RIE微机械加工相关论文
微机械加工中的RIE技术
简述了反应离子刻蚀(RIE)技术在微型传感器部件加工制造中的应用,报道了采用NF3、SF6等气体反应离子刻蚀Si的实验结果,研制出了φ300um的微型Si齿......
期刊
离子刻蚀
RIE微机械加工
传感器
Reactive ion etch Sidewall Surface roughness
看过本文同时还关注
如何写好一篇毕业论文
免费论文查重的方法
从零开始写毕业论文的方法
热心助人的动物
第一届全国脊柱脊髓基础研究及临床...
2004世界科技七大看点
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物
对甘肃省国有企业兼并问题的思考
热心助人的动物