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SOI晶膜相关论文
熔区固液界面温度梯度的优化与再结晶SOI晶膜质量的提高
本文研究了多晶硅薄膜在红外溶区再结晶过程中溶化和固化前沿不同的推进行为,提出为了提高再结晶质量,熔区两则对所得到的辐射能流密......
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