SOI材料干法刻蚀结构厚度footing效应相关硕士博士期刊学术论文

针对湿法腐蚀加速度计悬臂梁时出现的梁厚度不均匀性问题，采取项层硅可定制的SOI材料制作出梁厚度均匀性一致的器件；采用干法刻蚀工......