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Si原子扩散相关论文
退火过程中Si的扩散行为研究
研究了电沉积试样的高温退火过程中,不同退火条件下试样中断面层Si原子的扩散.通过理论计算得出Si原子的扩散系数,分析退火条件对S......
期刊
退火
Si原子扩散
扩散系数
annealing Si atomic diffusion coefficient of diffusion
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