Si)N薄膜相关硕士博士期刊学术论文

Si)N薄膜相关论文

本文研究了在Bulat-6多弧离子镀膜机上真空电弧沉积AlN薄膜的基础上,对AlN基薄膜进行铬元素的复合制备了（Al,Cr）N薄膜,采用Al/Si合金......

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