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利用射频磁控溅射法，在SSiC陶瓷表面沉积一层无定形Si—C-O-N涂层，测试了抛光后的涂层和SSiC陶瓷在不同波段的反射率情况。结果表明：......
为了改善SSiC陶瓷反射率较低的情况,采用RF磁控溅射法在SSiC陶瓷表面涂覆了无定型Si-C-O-N涂层。借助XRD、FTIR、XPS等手段对涂层......
