SiCN晶体相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

SiCN晶体相关论文

溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体

在微波等离子体化学气相沉积系统中,利用脉冲氮离子束溅射二氰二氨靶产生的碳氮粒子作为合成前驱物,在石英玻璃基片上研究了SiCN晶......

期刊

SiCN晶体微波等离子体溅射二氰二氨 Silicon carbon nitride Microwave plasma Sputtering Dicyand

氮化碳的制备研究

本文概述了近二十年来碳氮化合物在理论和实验研究方面的进展,总结了碳氮化合物的性能及常用的表征手段。分析表明寻找有利于sp~3C......

学位

氮化碳 SiCN晶体碳膜脉冲电弧放电微波等离子体化学气相沉积

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