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SiCN薄膜材料相关论文
计算机编程控制HFCVD系统与金刚石薄膜及相关材料生长的研究
为了提高金刚石薄膜的质量和生长速率,该论文结合气相化学和表面化学模拟以及原位光发射谱诊断,把金刚石生长的传统C/H体系扩展到N......
学位
金刚石薄膜
金刚石生长
SiCN薄膜材料
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