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SiGe合金氧化层相关论文
SiGe合金氧化层中的纳米结构
在硅锗合金衬底上采用氧化等制膜方式生成零维和二维的纳米结构样品,用高精度椭偏仪(HPE)、卢瑟福背散射谱仪(RBS)和高分辨率扫描......
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