SiNx:H相关论文
为了研究热丝温度对a－SiNx：H薄膜性能的影响，采用热丝化学气相沉积法，以SiH4，NH3，H2为反应气源，改变热丝温度沉积薄膜。通过紫外－可见光吸......
为了提高晶体硅太阳能电池的光电转换效率，以及获得较佳的减反射膜的膜厚和折射率，根据计算得出的在波长为600nm的太阳光下减反射膜......
