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a-SiNx:H 薄膜的热丝化学气相沉积及微结构研究
为了研究热丝温度对a-SiNx:H薄膜性能的影响,采用热丝化学气相沉积法,以SiH4,NH3,H2为反应气源,改变热丝温度沉积薄膜。通过紫外-可见光吸......
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SiNx:H
光致发光光谱
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热丝化学气相沉积
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