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基于FE/SC结极化翻转特性及极化诱导增强2DEG特性研究
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学位
铁电场效应晶体管
负电容场效应晶体管
电容匹配准则
负电容效应
氮化镓
氧化镓
HEMT
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应用于半导体器件钝化的类金刚石膜仿真模型的建立
为建立类金刚石膜材料仿真模型,采用PECVD法在石英及硅衬底沉积出适用于功率半导体器件钝化的类金刚石膜,借助光谱吸收法测量其禁......
期刊
半导体器件
类金刚石膜
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ATLAS
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