Smart-Cut技术相关论文
通过H离子注入Ge晶圆退火起泡动力学研究,对实现晶圆Ge在氧化硅上层转移后的Ge表面（Ge OI）采用湿法化学腐蚀研究,使其能进一步改善表......
在现在的纸，连续统破裂力学被用来分析聪明切割的过程，启用各种各样的 silicon-on-insulator (SOI ) 的高度有效的制造的一种最近确......
