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YIG磁性薄膜低温集成工艺
为使YIG磁性薄膜应用到Si集成电路中,利用Sol—Gel技术晶化温度低的特点,结合快速热处理(RTP)工艺在Si基上制备了Y2.97,Bi0.05FesO12薄......
期刊
磁性薄膜
Sob-Gel法
快速热处理
静态磁性能
集成
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