用一种新的低温过程制备了srBi2Ta2O9铁电薄膜.在Sol-Gel方法中用Pt/Ti/SiO2/si作衬底,研究了薄膜的结构和电特性.srBi2Ta2O9薄膜......

在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上,用金属有机物分解法(MOD)制备了SrBi2Ta2O9(SBT)铁电薄膜.研究了SBT薄膜的晶体结构,表面形貌以及它的电......