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微分析技术已经成为微电子产业发展的重要技术支撑,FIB(focused ion beam)结合了精细加工技术和微分析技术,具有在亚微米线度上的......
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FIB技术通过截面加工实现部分失效样品的原位观察,通过截面加工获得的图像获取相关信息;能够进行TEM制样,是材料微分析领域中不可......
