通过正交试验对ＰＣＶＤ－Ｔｉ（ＣＮ）膜的镀膜工艺参数进行了优化，得到一可制备高硬度、高结合牢度和高沉积速率的Ｔｉ（ＣＮ）膜的工艺参数。试验表明，在用ＰＣＶＤ法沉积Ｔｉ（ＣＮ）膜的......

模具的失效大多是从表面开始，因此通过各种表面处理技术提高模具的表面性能，是延长模具使用寿命的有效手段。低温化学热处理以其工艺......