Ti:Al薄膜相关硕士博士期刊学术论文

用100keVAr~+离子在低温下对TI:Al薄膜进行了离子束混合研究。实验试样是在单晶硅上蒸镀约500nm厚的铝腹,相继再蒸上所需不同厚度......