Ti—Si—N薄膜相关论文
用反应磁控溅射方法,在不锈钢表面沉积Ti-Si-N薄膜.用原子力显微镜观察薄膜的表面形貌,Ti-Si-N颗粒尺寸小于0.1 μm,用亚微压入仪......
综述了Ti-SiN超硬纳米复合薄膜结构形式的研究进展。介绍了研究者对Si原子在Ti—Si—N中形成的晶界是否为晶态的认识与研究，阐述了S......
为了准确地实现Ti—Si-N纳米复合薄膜生长过程动力学蒙特卡罗（KMC）4g4tb，采用简单原子之间的有效势拟合了第一性原理计算单粒子在TIN（0......
在TiN中加入不固溶于TiN晶格的Si元素,提高薄膜的硬度、韧性和弹性回复,从而增加了刀模具的使用寿命.......
