为了研究Al含量对Ti-Al-N复合膜的力学及高温抗氧化性能的影响.采用真空磁控溅射技术的方法制备了不同Al含量的Ti-Al-N复合膜.使用......

本论文采用反应磁控溅射制备了Ti-Al-N复合膜、Ti-Al-V-N复合膜和Ti-Al-N/VN纳米结构多层膜,研究了Al含量对Ti-Al-N复合膜的微结构......