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TiAlNO薄膜相关论文
磁控溅射TiAlNO薄膜的结构与力学性能
采用独立的Ti靶和Al靶,用射频反应磁控溅射方法,逐步控制氧流量在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积了一系列具有不同氧含量的TiAlNO薄膜......
期刊
反应磁控溅射
TiAlNO薄膜
结构
硬度
摩擦性能
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