对新型太阳能用薄膜材料TiAlON材料进行了椭偏研究。采用Cauchy,Lorentz和Tauc Lorentz模型对绝缘性TiAlON薄膜的椭偏测量结果进行......

进入二十一世纪,光电子技术和纳米技术迅猛进步,电子器件进一步向集成化和微型化方面发展。随着航空航天领域,通讯领域,微电子和计......

对TiAlON薄膜的制备技术、组织结构及特性进行了综述，指出了膜层的性能优化方法与途径，展望了膜层未来的应用方向。......