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TiAlZrN膜相关论文
钛铝锆氮膜系硬度极值影响因素与分布规律研究
本研究选用多弧离子镀技术制备了金属组元含量不同的钛铝锆氮(TiAlZrN)膜层。选用铝钛(Al Ti)合金靶、单质(Zr)靶、钛锆(Ti Zr)合......
学位
TiAlZrN膜
组元含量
相结构
硬度
膜/基结合力
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