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TiWN复合膜相关论文
W含量对Ti1-xWxN复合膜的微结构、力学性能和摩擦性能的影响
采用射频反应磁控溅射技术制备一系列不同W含量的TiWN复合膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损仪等对TiWN复合膜微结构、力......
期刊
磁控溅射
TiWN复合膜
微结构
力学性能
摩擦性能
Magnetron sputtering
TiWN composite films
microstru
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