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非平衡磁控溅射法Ti/TiO2薄膜的制备及分析
在光学玻璃衬底上利用新型非平衡磁控溅射技术沉积了Ti/TiO2薄膜。原子力显微镜分析表明,薄膜表面光滑、致密、均匀,表面粗糙度(Ra)小于......
期刊
非平衡磁控溅射
Ti/TiO2薄膜
非晶态
光学性能
Unbalanced magnetron sputtering
Ti/TiO2 films
Un-cr
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