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V形柔性单元相关论文
光刻投影物镜V形柔性轴向调节机构设计
为了满足光刻投影物镜对轴向调节机构的调节行程大、精度高、结构紧凑等需求,基于三角形换向原理,设计了轴向调节机构。在调节机构中......
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