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VAlSiN硬质涂层相关论文

VAlSiN硬质涂层的结构与机械性能

目的研究Si的掺入对VAlN硬质涂层机械性能的影响行为。方法利用双靶（V50Al50靶与Si靶）磁控溅射沉积技术，保持V50A150靶的功率为一定值......

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VAlSiN硬质涂层 Si掺入机械性能 VAlSiN hard coatings silicon addition mechanical properties

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