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基体对应力诱导的纳米晶W膜开裂行为的影响
采用磁控溅射方法同时在Si(100)和聚酰亚胺(PI)基体上沉积W膜,对比研究不同基体约束对纳米晶W膜微观结构及应力诱导的开裂行为的影......
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变形机理
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基体对应力诱导的纳米晶W膜开裂行为的影响
采用磁控溅射方法同时在Si(100)和聚酰亚胺(PI)基体上沉积W膜,对比研究不同基体约束对纳米晶W膜微观结构及应力诱导的开裂行为的影......
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残余应力
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