考察了单输入单输出的Wiener系统、Wiener-Hammerstein系统和多输入多输出的Wiener系统等块结构(Block-oriented)非线性系统的辨识......

可变狭缝系统作为扫描光刻机重要的分系统,在曝光等工作过程中起到了十分重要的作用。可变狭缝系统的核心部件为可变狭缝精密运动......

针对含非对称间隙环节的Wiener-Hammerstein系统提出了一种新的由输出反馈和间隙动态逆补偿构成的复合控制方案.首先应用参数化分......