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Xe液体微滴喷射靶相关论文
Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验
基于Xe的惰性和在13~14 nm波段高的辐射强度,Xe被认为是极紫外投影光刻(EUVL)潜在的靶材,为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光......
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Xe液体微滴喷射靶
激光等离子体光源
极紫外投影光刻
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