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Zernike像差矫正相关论文
基于AlN的MEMS变形镜研究
变形镜作为波前矫正器在自适应光学系统中被大量运用,现已广泛渗透到天文学、视网膜成像、光束整形等领域当中。为获得低成本、制......
学位
自适应光学
变形镜
微镜
AlN
MEMS
线性控制
CMOS工艺兼容
Zernike像差矫正
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