用射频偏压磁控溅射法，在水冷透明聚脂胶片上制备出了附着力强的ZnO:A1（Aluminium doped Zinc Oxide,AZO）透明导电膜，膜的最小电阻率为......

采用射频磁控溅射法在有机薄膜衬底和７０５９玻璃衬底上在室温下制备出了因淀积时间变化而厚度不同的ＺｎＯ：Ａｌ透明导电膜，并对不同厚度薄膜的结构特......