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ZnO:Ga透明导电膜相关论文
ZnO:Ga透明导电膜的低温制备及特性研究
本论文叙述了用射频磁控溅射的方法在玻璃衬底上低温制备出高质量的ZnO:Ga透明导电膜,并系统的研究了溅射功率,工作气压,薄膜厚度和退......
学位
ZnO:Ga透明导电膜
射频磁控溅射
溅射功率
工作气压
薄膜厚度
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