利用射频磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的ZnO：Zr透明导电薄膜。讨论了厚度对ZnO：Zr透明导电薄膜......

以Zn：Zr（Zr片贴在金属Zn靶上面）为溅射靶材，利用直流反应磁控溅射法在Ar／O_2混合气氛中制备Zr掺杂ZnO（ZnO：Zr）薄膜．在制备ZnO：Zr薄膜时，衬底偏......