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ZnO∶Zr相关论文

靶与衬底之间的距离对ZnO∶Zr透明导电薄膜性能的影响

利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌（ZnO∶Zr）透明导电薄膜。并系统地研究了靶与衬......

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靶与衬底之间的距离 ZnO∶Zr 透明导电薄膜磁控溅射 target-to-substrate distance zirconium-doped zinc o

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