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ZrN超硬薄膜相关论文
离子束辅助真空电弧沉积纳米ZrN及(Zr,Me)N薄膜的研究
根据真空电弧沉积的膜层与基材的附着力强、沉积速度快、沉积温度低、无公害等优点和离子束辅助沉积的离子束轰击可以获得致密的优......
学位
ZrN超硬薄膜
多元薄膜
真空电弧沉积
离子束辅助沉积
组织和性能
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