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a-C(Al)相关论文
高硬度、低应力类金刚石薄膜的制备及其摩擦学行为
采用直流磁控溅射金属Al和C石墨组合靶,在单晶硅和不锈钢基底上成功制备出含Al的非氢类金刚石a-C(Al)薄膜。采用XPS、Raman、纳米压......
期刊
类金刚石薄膜
磁控溅射
a-C(Al)
力学性能
摩擦磨损
Diamond-like film
magnetron sputtering
a-C ( A
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