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a-SiN_x∶相关论文
a—SiNx:H薄膜退火前后微结构的Raman谱研究
采用微区Raman谱,并结合红外透射测量研究了等离子体增强化学气相沉积方法制备的不同氮含量的a-SiNx:H样品退火前后TO模及TA模与样品微结构的关系。结......
期刊
RAMAN光谱
振动模式
a-SiHx:H薄膜
退火
微结构
Raman spectroscopy
Infrared spectroscopy
a-SiN_x∶
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